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GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法现行

发布日期:2006-03-27 实施日期:2006-11-01

标准摘要

本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质,提供优化溅射深度剖析参数的指南。

注:若需要正式出版文本,请底部扫码咨询客服。

代替标准

现行标准

修改单

国别:
中国
英文名称:
Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials
中标分类:
N 33
ICS分类:
分析化学 > 化学分析
发布日期:
2006-03-27
实施日期:
2006-11-01
发布部门:
国家标准化管理委员会
发布号:
2006年第5号(总第92号) 点此查看此公告发布的标准
官方来源:
国家标准化管理委员会
起草单位:
本标准无引用标准
本标准共有 1 项被引用标准
1. GB/T 25184-2010 X射线光电子能谱仪检定方法

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