GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法现行
发布日期:2006-03-27
实施日期:2006-11-01
标准摘要
本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质,提供优化溅射深度剖析参数的指南。
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代替标准
现行标准
修改单
- 国别:
- 中国
- 英文名称:
- Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials
- 中标分类:
- N 33
- ICS分类:
- 分析化学 > 化学分析
- 发布日期:
- 2006-03-27
- 实施日期:
- 2006-11-01
- 发布部门:
- 国家标准化管理委员会
- 发布号:
-
2006年第5号(总第92号)
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- 官方来源:
-
国家标准化管理委员会
- 起草单位: