帮助视频GB/T 22572-2008 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法现行
标准摘要
本标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。
由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。
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代替标准
现行标准
修改单
- 国别:
- 中国
- 英文名称:
- Surface chemical analysis-Secondary-ion mass spectrometry-Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
- 中标分类:
- G 04
- ICS分类:
- 分析化学 > 化学分析
- 发布日期:
- 2008-12-11
- 实施日期:
- 2009-10-01
- 发布部门:
- 国家质量监督检验检疫总局＆国家标准化管理委员会
- 发布号:
- 2008年第19号(总第132号) 点此查看此公告发布的标准
- 官方来源:
- 国家标准化管理委员会
- 起草单位:
- 本标准共有 1 项引用标准
- 1. GB/T 22461
- 本标准无被引用标准
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