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GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量现行

发布日期:2013-07-19 实施日期:2014-03-01

标准摘要

本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。

本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。

注:若需要正式出版文本,请底部扫码咨询客服。

代替标准

现行标准

修改单

国别:
中国
英文名称:
Surface chemical analysis-Depth Profiling-Measurment of sputtered depth
中标分类:
G 04
ICS分类:
分析化学 > 化学分析
发布日期:
2013-07-19
实施日期:
2014-03-01
发布部门:
国家质量监督检验检疫总局&国家标准化管理委员会
发布号:
2013年第10号 点此查看此公告发布的标准
官方来源:
国家标准化管理委员会
起草单位:
本标准无引用标准
本标准无被引用标准

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