GB/T5275的本部分详细阐述了使用市售热式质量流量控制器利用纯气或混合气连续制备含两种或多种组分的校准混合气体的方法。
使用本方法制备校准混合气体所能达到的最好水平如下:相对测量扩展不确定度(由合成标准不确定度乘以包含因子k=2得到)U不大于2%。
如使用预混合气体代替纯气,可制备摩尔分数低于10-6的混合气体。质量流量的测量不是绝对的,质量流量控制器需要单独校准。
这种制备方法的优点是可连续制备大量混合气体,并且只要使用适当数量的热式质量流量控制器,就可像制备二元混合气体一样方便地制备多组分混合气体。
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