GB/T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性现行
发布日期:2022-12-30
实施日期:2023-07-01
标准摘要
本文件适用于评估在洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试设备、工艺设备、部件及工具等设备的适用性。根据GB/T 25915.1,关注悬浮粒子粒径范围为0.1μm至大于或等于5μm。
本文件不适用于:
——根据微生物污染评估适用性;
——对清洁剂及清洁技术的适用性进行测试;
——设备和材料的可清洁性;
——设备设计及材料选择的要求;
——材料的静电、热学等物理性能;
——具体工艺场合设备性能的优化;
——测试统计方法的选用;
——当地安全法规的条款和要求。
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代替标准
现行标准
修改单
- 国别:
- 中国
- 英文名称:
- Cleanrooms and associated controlled environments—Part 14:Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
- 中标分类:
- C 70
- ICS分类:
- 13.040.35
- 发布日期:
- 2022-12-30
- 实施日期:
- 2023-07-01
- 发布部门:
- 国家市场监督管理总局&国家标准化管理委员会
- 发布号:
-
国家标准化管理委员会公告(2022年第21号)
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- 官方来源:
-
国家标准化管理委员会
- 起草单位:
- 苏州安泰空气技术有限公司&江苏嘉合洁净科技有限公司&中国电子系统工程第四建设有限公司&中国标准化协会&苏州市计量测试院&中国合格评定国家认可中心&中国建筑科学研究院有限公司&江苏富泰净化科技股份有限公司&中国电子系统工程第二建设有限公司&中国电子工程设计院有限公司&上海市食品药品包装材料测试所&广东省洁净技术行业协会&天津大学&上海市室内环境净化行业协会&南京工业大学&北京中邦兴业科技有限公司&广东量化检测技术有限公司&深圳市朗奥洁净科技技术股份有限公司&江汉大学&中科圣杰(深圳)科技集团有限公司&河南盛川净化工程有限公司