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GB/T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性现行

发布日期:2022-12-30 实施日期:2023-07-01

标准摘要

本文件规定了评定洁净室及相关受控环境中设备和材料的适用性要求,提供了指南。本文件不适用于以下内容:

——健康和安全要求;

——清洁剂及清洁技术的相容性;

——清洁性;

——生物污染;

——工艺和产品对设备和材料的特定要求;

——设备的设计细节。

注:若需要正式出版文本,请底部扫码咨询客服。

代替标准

现行标准

修改单

国别:
中国
英文名称:
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 15:Assessment of suitability for use of equipment and materials byairborne chemical concentration
中标分类:
G 70
ICS分类:
13.040.35
发布日期:
2022-12-30
实施日期:
2023-07-01
发布部门:
国家市场监督管理总局&国家标准化管理委员会
发布号:
国家标准化管理委员会公告(2022年第21号) 点此查看此公告发布的标准
官方来源:
国家标准化管理委员会
起草单位:
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