帮助视频GB/T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空现行
标准摘要
本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数,监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。
本文件适用于粒径0.1μm~5μm粒子浓度的监测。
本文件不适用于振动或工程系统一般维护等监测。超细粒子(小于0.1μm的粒子)浓度的监测,将在另一个标准中规定。
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代替标准
现行标准
修改单
- 国别:
- 中国
- 英文名称:
- Cleanrooms and associated controlled environments—Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
- 中标分类:
- C 70
- ICS分类:
- 13.040.35
- 发布日期:
- 2021-08-20
- 实施日期:
- 2022-03-01
- 发布部门:
- 国家标准化管理委员会&国家质量监督检验检疫总局
- 发布号:
- 官方来源:
- 无
- 起草单位:
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