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GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级现行

发布日期:2018-06-07 实施日期:2018-10-01

标准摘要

GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中,按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A~附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。

本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面,如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级(SCP)限于粒径0.05um~500um的粒子。

注:若需要正式出版文本,请底部扫码咨询客服。

代替标准

现行标准

修改单

国别:
中国
英文名称:
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
中标分类:
C 70
ICS分类:
13.040.35
发布日期:
2018-06-07
实施日期:
2018-10-01
发布部门:
国家标准化管理委员会&国家质量监督检验检疫总局
发布号:
官方来源:
起草单位:
中天道成(苏州)洁净技术有限公司&深圳市吉隆洁净技术有限公司&苏州安泰空气技术有限公司&苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司&苏州净化工程安装有限公司&中国电子工程设计院&中电投工程研究检测评定中心,中国电子学会洁净技术分会&深圳市亿天净化技术有限公司.北京世源希达工程技术公司&中国工程物理研究院八所&深圳新科特种装饰工程公司
本标准共有 1 项引用标准
1. GB/T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇
本标准无被引用标准

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