GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级现行
发布日期:2021-08-20
实施日期:2022-03-01
标准摘要
本文件定义了洁净室中有关化合物或化学物质(包括分子、离子、原子、颗粒物)存在情况的表面洁净度分级系统。
本文件适用于洁净室及相关受控环境中所有表面,如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。
注:若需要正式出版文本,请底部扫码咨询客服。
代替标准
现行标准
修改单
- 国别:
- 中国
- 英文名称:
- Cleanrooms and associated controlled environments—Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
- 中标分类:
- C 70
- ICS分类:
- 13.040.35
- 发布日期:
- 2021-08-20
- 实施日期:
- 2022-03-01
- 发布部门:
- 国家标准化管理委员会&国家质量监督检验检疫总局
- 发布号:
-
- 官方来源:
-
无
- 起草单位:
- 中国工程物理研究院激光聚变研究中心&深圳市吉隆洁净技术有限公司&苏州市计量测试院&中国电子系统工程第二建设有限公司&苏州宏远净化技术有限公司&陕西中电精泰电子工程有限公司&苏州安泰空气技术有限公司&烟台宝源净化有限公司深圳市丽风净化工程有限公司&中国标准化协会&中国合格评定国家认可中心&上海市室内环境净化行业协会&上海风神环境设备工程有限公司&无锡汉佳医疗科技有限公司&上海浩泽诺瑞空气净化科技有限公司&茂盟(上海)工程技术股份有限公司